产品用途:
满足高速产品的定制需求,适用于激光加工, CCD成像,晶圆检测等。
产品特性:
●X、Y、Z工作台, Z轴布置于平台大理石横梁;
●龙门结构,横梁可随Y轴运动;
●XY微米级重复定位精度;
●大速度500mm/s ,大加速度1.0g ;
●单轴直线度可达+1.5μm ,运动平面度可达士2.0μm。