应用示例 *PVD装 *CVD装置 *溅镀装置 *离子注入机 *真空炉、热处理炉

磁性流体旋转密封装置在轴旋转的情况下，可以对于真空进行密封，也可以对气体进行隔离。磁性流体旋转密封装置是利用磁性流体的特性，由磁铁将磁流体固定于旋转轴周围，形成液体的“O形密封圈”。

特性和优点 *一般真空用磁性流体

*低饱和蒸气压磁液

*耐高热性强磁性流体

*耐腐蚀性气体磁液